Nanotechnologie

"Unter Nanotechnologie wird der Aufbau, die Analyse und die Anwendung von funktionalen Strukturen, Molekülen oder auch inneren und Grenzflächen verstanden, die sich im Größenmaßstab unterhalb 100 Nanometer bewegen. Gleichzeitig müssen die Strukturen neue Funktionen oder Eigenschaften besitzen, die unmittelbar an die Größenskala gekoppelt sind und so in der Makrowelt nicht realisierbar wären."

Die Nanotechnologie am Institut für Halbleitertechnik (IHT) konzentriert sich auf die Entwicklung und das Verständnis zukünftiger Informationstechnologien. Zu diesem Zweck besitzt das IHT einen vollständigen Maschinen- und Gerätepark zur Herstellung und Charakterisierung siliziumbasierter Strukturen und Bauelemente. Verschiedene Herstellungsansätze nanostruktrurierter Bauelemente wurden an unserem Institut entwickelt:

• Nanolithographie (EBL, AFM/STM, step and repeat NIL)
• Niedrigtemperatur-Deposition von Dielektrika, Halbleitern- und Metallschichten
• Ionenimplantation
• Trockenätztechniken zur Strukturübertragung
• Selbstorganisierte Nanostrukturierung magnetischer Dünnfilme und III-V Halbleiter mittels Sputterprozessen und Low-Pressure Chemical Vapour Deposition (LPCVD)

Unsere Kompetenzen werden auf den folgenden Seiten näher beschrieben. Wir sind Partner in einer Vielzahl nationaler und internationaler Projekte und stets an der Zusammenarbeit mit anderen Forschungsgruppen interessiert.