Festkörpertechnologie I  (WS) (2 1 -)

• Pflichtfach für Elektrotechniker mit Studienrichtung Festkörperelektronik.
• Wahlpflichtfach für andere Studienrichtungen.
• Nebenfach für Physiker (in der Kombination Festk. I+II+Praktikum)

Halbleiter Herstellungstechnologien (Micro- und Nanoelektronik): Theorie der Festkörper, speziell der von Halbleitern, Grundlagen des epitaktischen Wachstums, grundlegende Aspekte der Bearbeitung von Festkörpern wie Oxidation, Lithographie, Ätzung, Diffusion, Ionenimplantierung, Metallisierung, bis zu VLSI-Prozess-Integration, Analytische Methoden.

Festkörpertechnologie II (SS) (2 1 -)

• Pflichtfach für Elektrotechniker mit Studienrichtung Festkörperelektronik.
• Wahlpflichtfach für andere Studienrichtungen.
• Nebenfach für Physiker (in der Kombination Festk. I+II+Praktikum)

Halbleiter Herstellungstechnologien (Micro- und Nanoelektronik): Einführung in die elektrischen Eigenschaften von Quantenstrukturen, die Theorie der Quantenelektronik, der wichtigsten Epitaxie-Techniken, quantenelektronischer Bauteile, verspannter Schichtstrukturen und Hochtemperatursupraleitern, Nanotechnologie.