Laborausrüstung

  Studierender im Reinraum

Das Institut für Halbleiterelektronik ist eines der Gründungsmitglieder des Zentrallabor für Mikro- and Nanotechnologie (ZMNT). Das ZMNT ist eine hochmoderne Benutzereinrichtung, die über alle erforderlichen Instrumente für die Durchführung von Forschungsarbeiten verfügt, die Mikro- und Nanotechnologie erfordern. Die Einrichtung wird gemeinsam von mehreren anderen Forschungseinheiten der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik sowie dem Fachbereich Physik der RWTH Aachen betrieben und steht RWTH-internen und externen Nutzern aus Wissenschaft und Industrie offen.

Das ZMNT bietet die folgenden Mikrofabrikationstechniken an:

  • Lithographie: HMDS und Resistbeschichtung, optische Lithographie mit Mask Aligner und Laserscanner, E-Beam Lithographie und Nanoimprint Lithographie
  • Trockenätzen: Reaktives Ionenätzen, reaktives Ionenätzen mit induktiv gekoppeltem Plasma, reaktives Ionenätzen von tiefem Silizium, Ätzen von Atomschichten, Ionenstrahlätzen
  • Dünnschichtabscheidung: Niederdruck- und plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Sputterabscheidung, Elektronenstrahlverdampfung
  • Thermische Bearbeitung: Schnelles thermisches Annealing, Oxidation und Nitridierung, Tempern in reinem Wasserstoff, trockene und nasse Oxidation im Rohrofen, Laser-Annealing
  • Nasschemische Bearbeitung: Gasförimge HF, RCA-Reinigung, KOH-Ätzen, galvanische Beschichtung
  • Polieren und Bonden von Wafern: mechanisches Polieren, chemisch-mechanisches Polieren, Bonden von Wafern
  • Charakterisierung: optische und Rasterelektronenmikroskopie, spektroskopische Ellipsometrie (Mueller-Matrix), Raman-Spektroskopie, Sekundärionen-Massenspektrometrie, FTIR, IR-Thermografie, AAA-Lichtquelle, Rasterkraftmikroskopie, Oberflächenprofiler

Im Jahr 2022 wird eine Reinraumerweiterung eröffnet, so dass das CMNT dann über eine Reinraumfläche von etwa 1000 m² verfügt. Das neue Gebäude wird auch gemeinsam betriebene Messlabors für die elektrische Charakterisierung sowie chemische Labors enthalten.

Auf der Website des Zentrallabors für Mikro- und Nanotechnologie finden Sie eine eine komplette Liste des verfügbaren halbleitertechnologischen und messtechnischen Equipments.