Festkörpertechnologie

 

Die Halbleitertechnologie gilt als eine der wichtigsten Schlüsseltechnologien, die in ihrer Ausgereiftheit, Präzision und Perfektion im Vergleich zu anderen Fertigungstechnologien beispiellos ist. Abgesehen von integrierten nanoelektronischen Schaltungen wird sie daher auch für die Herstellung von nano- und mikro-elektromechanischen Systemen, integrierter Silizium-Photonik etc. eingesetzt. Die zunehmende Digitalisierung von Industrien und dem Gesundheitswesen sowie das Internet der Dinge erfordern die Realisierung von intelligenten und autonomen, jedoch auch miteinander vernetzten Geräte, wodurch die Halbleitertechnologie in Zukunft noch wichtiger wird, als sie heute schon ist.

  Bild eines Wafers mit diversen Technologieschritten im Bild Urheberrecht: IHT RWTH  

Nach einer kurzen Einführung in festkörperphysikalische Aspekte von Halbleitern, ihrer Kristallstruktur und dem Kristallwachstum beschäftigt sich diese Vorlesung mit fortgeschrittenen Konzepten von CMOS-Fertigungstechnologien wie der modernen Projektions-Lithografie, der Elektronenstrahl-Lithografie, dem trockenen und nasschemischen Ätzen, High-k-Gatedielektrika, der Epitaxie und dem selbstorganisierten Wachstum von Halbleiterheterostrukturen. Darüber hinaus wird die Herstellung von Bauteilen, die auf neuartigen Materialien wie Graphen, Übergangsmetall-Dichalkogeniden sowie Nanodrähten und Nanoröhrchen basieren, eingeführt.

Der Kurs wird mit einer schriftlichen Prüfung abgeschlossen. Die Vorlesung wird regelmäßig im Wintersemester angeboten und durch den Kurs Herstellung und Charakterisierung nanoelektronischer Bauelemente und Schaltungen, der im darauffolgenden Sommersemester angeboten werden, ideal ergänzt.

Vorlesungstermine und weitere Informationen im Campus Office.