Simulationsprogramme

 

Ultrathin-Body Silicon-on-Insulator MOSFET

MOSFET Charakteristik

Auf der Grundlage des Nicht-Gleichgewichts-Green-Funktions-Formalismus berechnet dieses Programm die Id-Vgs-Charakteristiken von Silicon-on-Insulator-Metalloxid-Halbleiter-Feldeffekttransistoren mit kurzem Kanal und ultradünner Kanalschicht. Ballistischer elektronischer Ladungsträgertransport und Raumtemperatur werden angenommen. Die Simulation berücksichtigt Gate-Leckage (sowohl durch quantenmechanisches Tunneln als auch durch thermische Emission). In der README-Datei finden Sie weitere Informationen zur Verwendung des Programms. Die Ergebnisse werden als grafische Ausgabe dargestellt (mit expliziter Angabe der inversen Unterschwellensteigung).

 

Sputter Deposition

Sputter Deposition

Dieses Simulationsprogramm ermöglicht die qualitative Untersuchung der Sputterabscheidung von Material auf mit Resist beschichteten Proben. Der Winkel der Lackflanke kann durch einfaches Angeben der Lackmaskenöffnung am oberen und unteren Ende der Lackschicht eingestellt werden. Die Simulation basiert auf einem kinetischen Monte-Carlo-Ansatz, der zur Vereinfachung und Beschleunigung der Simulation auf zwei Dimensionen beschränkt ist. Im Vergleich zu experimentellen Daten (siehe Bild) liefert das Programm eine angemessene Übereinstimmung. In der README-Datei finden Sie weitere Informationen zur Verwendung des Programms.

 

Sichtbarkeit von 2D Materialien

Farbeindruck eines 2D Materials auf einem Substrat

Mit diesem Programm lässt sich der Farbeindruck verschiedener 2D-Materialien (in Abhängigkeit von der Anzahl der Schichten) auf einem Substrat berechnen, das aus einem starren Stapel dielektrischer Materialien besteht.

 

Proximity Korrektur

Proximityeffekt

Mit diesem Programm lässt sich der Proximity-Effekt bei der Elektronenstrahllithographie abschätzen. Eine zweifache Gauß-Verteilung wird verwendet, um den Dosiseintrag zu beschreiben, der an jedem Punkt in das Substrat abgegeben wird. Das Ergebnis wird in einer grafischen Ausgabe dargestellt. Eine Maske kann mit Hilfe der mitgelieferten .bmp-Datei eingegeben werden. Dazu verwenden Sie einfach ein beliebiges Plotprogramm, um die Datei zu bearbeiten und sie entsprechend zu speichern; verwenden Sie nur die in der Datei angegebene Farben mit exakten RGB-Werten. Die README-Datei enthält weitere Informationen zur Verwendung des Programms und zur Eingabe der Maskendatei. Bitte beachten Sie, dass das Ergebnis nicht quantitativ ist, sondern nur qualitative Daten zur Veranschaulichung des Proximity-Effekts liefert.