Das Institut für Halbleitertechnik ist eines der Gründungsmitglieder des Zentrallabors für Mikro- und Nanotechnologie. Das Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie ist eine hochmoderne Einrichtung, die über alle halbleitertechnologischen Anlagen verfügt, die in der Forschung im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie benötigt werden.
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