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Das Institut für Halbleitertechnik kann auf eine über 50-jährige Geschichte zurückblicken. In 2022 werden wir endlich in der Lage sein in unser neues Institutsgebäude einzuziehen. Dieser Neubau stellt neben einem neuen Bürogebäude auch eine Erweiterung des Reinraums zur Verfügung. Dieses Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie (ZMNT) wird gemeinschaftlich mit einer Reihe von Partnern betrieben und stellt auf ca. 2000qm alle für die Mikrofabrikation benötigten Technologien zur Verfügung. Komplettiert wird das ZMNT durch gemeinschaftlich betriebene physikalische (Mess-) und chemische Labore.
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