Skalierung von Tripel & Multi Backgate Bauteilen für die Herstellung von Tunnel- & Superlattice-FETs

München / Verlag Dr. Hut (2018) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): 152 Seiten : Illustrationen

Authors

Selected Authors

Riederer, Felix
Mayer, Joachim

Identifier

  • ISBN: 978-3-8439-3675-0
  • REPORT NUMBER: RWTH-2018-228542