Monokristalline NEMS-Sensoren mit feldeffektbasierter Signaltransduktion : Entwurf und Herstellung sensitiver Bauelemente auf Basis monokristallinen Siliziums für nano- und opto-elektromechanische Sensoranwendungen

Aachen (2019, 2020) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): 1 Online-Ressource (167 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Authors

Authors

Scholz, Stefan

Advisors

Knoch, Joachim
Witzens, Jeremy